GCA当时投入研发EUV技术项目的3000万美元经费,可以收购ASML40%的股权,不是一笔小数目!
GCA当时账上的现金流只剩下300多万美元,公司要花钱的地方多的是。
孙健前世在互联网上看过不少有关ASML EUV光刻机的文章,作者纷纷感叹研发和生产EUV光刻机之难难于上青天,被称为外星人的科技水准,是迄今为止人类科技领域所能达到的最尖端技术,没有之一。
为了打破封锁,投入巨资,举国之力也没有看见成果。
前世90年代末,干式193nm波长光刻机遇到了65nm制程工艺的极限,再往下就寸步难行,如何跨入40nm制程工艺?成为阻挡所有光刻机等半导体厂商的世界性难题,科学家和产业界提出了各种超越193nm波长的方案,其中包括157nm F2激光,电子束投射(EPL),离子投射(IPL)、EUV(13.5nm)和X光等。
相对而言,157nm F2激光的技术难度稍低,不少公司开始下注157nm F2激光,其中尼康和SVG在这个技术路线走的最远,是最接近商业化量产的两家公司。
几年后,ASML收购了SVG,也拥有了157nmF2激光技术,又砸下数亿美元进行研发,此外ASML也还尝试开发EUV光刻机。
财大气粗的英特尔一开始就倾向于激进的EUV(13.5nm)方案,希望彻底解决光刻机的波长世界性难题,集中全球顶尖科技精英一起愚公移山,他们说服对高科技开明的克林顿内阁,发起成立了EUV LLC(EUV有限责任公司)。
EUV LLC由英特尔和美国能源部牵头,集中了当时如日中天的摩托罗拉、IBM和AMD,以及享有盛誉的美国三大国家实验室:劳伦斯利弗莫尔实验室、劳伦斯伯克利实验室和桑迪亚国家实验室,集中数百位世界顶尖科学家,投资2亿美元研发经费,从理论上验证 EUV可能存在的技术问题。
英特尔当时打算邀请光刻机行业第一、第二位的Nikon和ASML加入EUV LLC,但美国政府担心最前沿的光刻机技术落入外国公司手中,反对Nikon和ASML加入。
ASML为了表现诚意,同意在美国建立一所工厂和一个研发中心,以此满足所有美国本土的产能需求,另外,还保证55%的零部件均从美国供应商处采购,并接受定期审查,做出多项让步后,最后成功加入EUV LLC,能够享受其基础研究成果,Nikon却没有机会加入,失去了同ASML竞争的机会。
几年之后,终于论证了EUV的可行性,于是EUV LLC的使命完成,公司解散,各个成员踏上独自研发之路。
ASML加入EUV LLC后,享受到的研究成果大大加快了其EUV的研发进度,2005年摩尔定律陷入停滞,极紫外光刻技术被认为是制程突破10nm制程工艺的关键,但由于EUV光刻机几乎逼近物理学、材料学以及精密制造的极限,光源功率要求极高,透镜和反射镜系统也极致精密,还需要真空环境,配套的抗蚀剂和防护膜的良品率也不高,别说是对日本与荷兰,就算是科技全球第一的美国,举国之力独自突破这项世界最尖端的技术,也是痴人说梦。
由于技术难度极高,需要巨额的研发资金,尼康和佳能只得选择放弃,彻底沦为中低端光刻机厂商。
ASML成为唯一的候选人!
ASML以23%的股权得到英特尔、三星和台积电的53亿欧元的研发EUV光刻机的资金,而这三家客户也因此获得优先供货权。
ASML也成为美国大财团控股的荷兰高科技公司!
从1997年,英特尔和美国能源部牵头成立EUV LLC开始,到孙健重生前的2017年,ASML才成功量产第一台EUV光刻机,集中全球物理学、材料学和精密制造极限的技术成果,还用了整整20年的时间!
EUV光刻机研制成功之难难于上青山不是一句调侃!
孙健预测再投入1亿美元,汤普森团队就是能研究成功EUV,在EUV光刻机这种人类技术最复杂的宏伟工程面前,GCA即使耗费几十亿美元的研发经费,也不可能独自生产成功,要集中全球最顶尖的物理学、材料学和精密制造等科技成果,也只有美国才有这样的组织能力。
GCA生产高端光刻机,BSEC生产中低端光刻机,这是收购GCA时,孙健给两家公司的定位,不以他的意志为转移。
GCA重获新生,ASML将失去进入EUV LLC的机会,ASML独自研制成功EUV光刻机如同痴人说梦话,BSEC也不能!
苏联解体后,以俄罗斯为首的东欧国家已经倒向西方阵营,同我们友好的国家,其经济和科技实力都不强,在如今的科技和经济条件下,举国之力,BSEC研制EUV光刻机,没有20年,也看不到成果。
重生者又不是神仙!
在美国政府和高科技公司的技术和资金支持下,全球只有GCA才有可能研制成功EUV光刻机,不然,耗费的研发资金就有可能拖垮GCA。
GCA终归是美国半导体设备生产的高科技公司,一旦中美交E,美国政府会以国家安全为由收回TIC持有的GCA股权,除非加入美籍,孙健早有心理准备,到时,出售GTER或IBM,收回几十亿美元的投资应该问题不大。
美国人的锲约精神只有公知才相信!
GCA研发成功EUV光刻机耗时越长,对BSEC越有利,一旦浸没式光刻机在EUV光刻机之前研制成功,BSEC将成为光刻机行业的一匹黑马!
BSEC才是孙健需要真正关心的孩子,但要养大这个孩子也不容易。
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“董事长,我从一个在商务部工作的朋友那里得到确凿消息,如今TH关系紧张,商务部出口管制委员会不同意公司出口250nm制程工艺的半导体生产线给PGCA的申请,除非克林顿总体出面授权!”
三天后,艾德里安向孙健汇报,一脸的遗憾,希望孙健直接找克林顿总统。
“艾德里安先生辛苦了,我明天回国。”
孙健早就料到这个结果,不是十分遗憾,他不会为了GCA和PGCA的利益,前往总统府,请求克林顿给GCA和PGCA一个机会,在如今TH关系紧张的敏感时期,即使成功,一旦被有心人利用,传到国内互联网上,卑躬屈膝,汉奸,奴才……</p>